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更新时间:2026-04-14
浏览次数:17透射电子显微镜是一种测量设备,可以观察样品的内部结构。
这是一种电子显微镜,通过照射电子束观察超薄样品内部,以检测穿透样品的透射电子和散射电子。 它被广泛应用于材料工程和生物化学等多个领域,因为它能够以光学显微镜无法实现的高倍率观察样品内部结构。 (英文:透射电子显微镜(TEM))
透射电子显微镜用于以数百~百万倍的放大倍率观察样品内部结构。
从对整个单元格在数十微米水平的观察中,Å (1Å(埃)=10-10m)级别。 它可用于观察各种物体,如半导体和陶瓷等多种材料的结构分析,以及细胞和细菌等生物样品的结构分析。 通过调整透镜系统可以获得多种信息,比如通过调整透镜系统观察电子衍射图样,以及通过附加额外光谱仪进行元素分析和状态分析。 与扫描透射电子显微镜(STEM)不同,它可以一次性获取图像数据,因此也可以用于观察结构随时间的变化。
透射电子显微镜的原理是用加速电子照射样品,并通过检测穿透样品的电子来观察样品内部状态。 虽然结构类似于光学显微镜,但所用光源是电子束而非可见光,因此样品厚度必须足够薄以允许电子透过(小于100纳米)。 样品中电子密度的差异表现为对比。
照射到样品的电子波长越小(能量越高),分辨率越高。 在加速电压300 kV下,电子的波长为0.00197 nm,这与光学显微镜中使用的可见光波长(约380 nm ~ 780 nm)相比非常短,因此可以以高分辨率(~0.1 nm)观测。 加速电压
越高,波长越短,分辨率越高,但样品损伤会增加,因此必须适当调整。 分辨率上限约为50 pm,原因是光学像差等因素。
部分样品需要适当的样品准备。
厚样品 用通用透射电子显微镜观察
的样品应被稀释至约100纳米厚度。
1. 分散法:
样品分散于溶剂中,分散液滴落到观察基底上。
2. 切片法 该方法使用
金刚石刀将样品稀释至约100纳米。 软样品如聚合物在切割前用液氮冷却。
3. 氬研磨方法 通过
机械加工将样品厚度降至数10微米后,通过辐照氪离子以切断样品中的键来稀释。
4. FIB法
:在扫描电子显微镜(SEM)观察时,用FIB稀薄靶区。 即使是厚度约5微米的样品,也可以用加速电压达到1000 kV或更高的超高压电子显微镜(HVEM)观察,但由于体积超大且结构复杂,该设备主要归大学等研究机构所有。+
不含重元素
的样品聚合物和生物样品主要由C、H、N和O等轻元素组成,因此电子导透率高,可能缺乏足够的对比度以识别结构。 你想观察结构的部分是具有高电子散射能力(OsO)的染料4和RuO4等等),对比度足够。 电子染色可能会改变样品结构,为避免此影响,透射电子显微镜中的相位差和扫描透射电子显微镜(STEM)等方法有效。
在高真空
条件下蒸发或升华的样品不仅改变样品的结构和形状,还可能导致设备故障。 为防止这种情况,应使用环境控制透射电子显微镜(ETEM)或冷冻电子显微镜。
由于加速电子束可以照射样品以获得除电子以外的多种信号,透射电子显微镜可能配备各种分析设备。
电子束衍射通过检测
弹性散射电子束的干涉获得样品的衍射图像。 对衍射图像的分析揭示了晶体学信息,如晶体结构和取向。
电子能量损失光谱(EELS)
非弹性散射电子束是指样品中入射电子束激发电子后发射的电子束。 通过测量电子束相较入射前损失的能量,可以获得样品的组成和键合态等信息。
电子束断层扫描通过将CT(计算断层扫描)原理应用于
透射电子,可以生成三维立体图像,叠加层层扫描图像。
此外,还可以添加各种分析功能。 与使用单独测量设备相比,测量位置可以在透射电子显微镜图像中选择,从而实现更详细的测量。