什么是测量显微镜？
测量显微镜是一种尺寸测量机，用于测量显微镜放大图像的尺寸。
它结合了光学显微镜的精确放大和XY级，用于在平面上精确移动测量工件，例如用于进行比较测量的模板。 测量显微镜支持非接触式测量，可以在不损坏工件的情况下观察轮廓形状和表面。
在测量显微镜中，远心光学器件常用于光学。 近年来，光学头采用了无穷远校正光学系统，实现差分干涉观测和简单偏振观测。
测量显微镜的应用
测量显微镜用于相对小型机械元件、电子元件和半导体产品的生产和质量控制。 该测量机适合测量小部件和难以在不用显微镜放大的情况下测量的小部件。
它不仅可用于尺寸测量，还可用于偏振和微分干涉的观测，例如检测半导体基板中的缺陷。 由于放大精度高，在简单检查中也可以通过使用模板进行比较测量，判断产品是否在公差范围内。
测量显微镜既可作为测量机使用，也可以作为显微镜使用，仅用一台即可应用于多种应用。
测量显微镜原理
测量显微镜可以根据照明方法进行分类。
1. 通过灯光
透射照明是指通过透射照明捕捉物体的阴影作为轮廓形状并进行尺寸测量。 它用于测量轮廓。
2. 垂直反射照明
垂直反射光照射物体表面垂直方向，并用反射光观察表面。 垂直反射照明不仅允许尺寸测量，还能观察表面几何。
3. 斜反光照明
斜反光照明是一种以一定角度照射光线照射到被测物体表面的照明方法。 其特点是图像的对比度被强调，因此可以获得三维且清晰的图像。 然而，它在尺寸测量上容易出现误差。
关于测量显微镜的额外信息
1. 远心光学
大多数测量显微镜采用远心光学进行透射照明。 不使用远心光学的显微镜会使附近的物体看起来更大，远处的物体看起来更小。
这种现象在我们日常使用的摄像头中也存在。 然而，这一特性意味着在尺寸测量中，距离较远的部分相较于高度方向不同的部分被测量得更小。
使用远心光学镜头时，即使焦点偏移到与镜头的距离或光轴方向，图像也不会改变，即使模糊。 远心光学在尺寸测量显微镜中至关重要，该技术使用显微镜测量尺寸。
2. 测量显微镜的并行输出
测量显微镜通过将被测物体放置在XY台上来测量。 因此，测量点可以位于XY级工作范围内的任何位置。 这意味着无论物体在XY级的位置，只要将XY级移动到测量点并进行测量即可。
某些需要测量的角度和直径需要XY级的显著运动，但物体的轮廓从未与XY级的运动平行，除非经过特殊调整。 因此，测量前必须将XY级的运动与物体边缘平行。
此外，如果测量对象和XY级没有平行，测量角度和平行度时会产生较大误差。 因此，需要进行计算来校正测量结果。 近年来，制造商推出了一系列测量设备，这些设备在XY阶段创建坐标系统，并从原点和测量点的坐标计算出去。 通过使用它，可以减少并行输出的工时。
3. 显微镜视角测量
显微镜不仅需要放大物体，同时还要能获得宽广的视场。 用显微镜一次性检查的范围称为视场，视角由目镜直径决定。
视场的大小称为视场数，实际视野则是被测量物体在视场内表面的范围。 真实视场与镜头放大率之间的关系如下：
实视场 = 视场目镜数量 / 物镜放大倍数
如上方公式所示，如果目镜的视场数相同，随着物镜放大倍率增加，实际视场范围会变窄。 由此可见，放大物镜放大倍率与放大物镜范围以一次性观看之间存在权衡。
如果你想扩大实际视场，必须增大目镜直径或降低物镜的放大倍率。 然而，降低物镜放大率是有限的，因为测量需要一定的放大倍率。 因此，测量显微镜配备了XY级和显示行程量的计数器，并配备测量无法完q全触及部分的装置。
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更新时间：2026-04-07 
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