USHIO/牛尾紫外汞灯
USHIO牛尾深紫外UV汞灯UXM-501MA 高亮度&amp;#183;点光源Deep UV灯，以xennon灯为基础，内含水银等金属蒸气，专为更微小的半导体线路pa转盘曝光场景开发，对远紫外线具有强光谱特性，能精准满足半导体曝光等高精度作业需求，凭借稳定的性能和优异的紫外输出，成为工业精密加工领域的优选光源。

产品型号：UXM-5000MA
厂商性质：代理商
更新时间：2026-04-18
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USHIO/牛尾紫外汞灯

USHIO牛尾深紫外UV汞灯UXM-501MA 高亮度·点光源Deep UV灯®，以xennon灯为基础，内含水银等金属蒸气，专为更微小的半导体线路pa转盘曝光场景开发，对远紫外线具有强光谱特性，能精准满足半导体曝光等高精度作业需求，凭借稳定的性能和优异的紫外输出，成为工业精密加工领域的优选光源。

该系列深紫外UV汞灯以氙灯为基础载体，搭配水银等金属蒸气填充设计，既保留了氙灯的高亮度优势，又通过金属蒸气的协同作用，强化了远紫外线区域的光谱强度，可适配微小半导体线路的转盘曝光工艺，为精密线路加工提供稳定、集中的紫外光源支持，有效保障曝光精度和加工效率。

关于产品寿命与使用规范，需特别说明：平均寿命指在额定电力连续点亮情况下的平均寿命时间，当出现以下两种情况之一时，即视为寿命终止：①水平辐照度或总光束降至初期的70%；②灯具无法正常点亮。冷却方面，需确保口金表面温度控制在200℃以下，且水银蒸发，避免因温度过高或水银蒸发不充分影响灯具性能和使用寿命。

此外，产品相关注意事项如下：φD1尺寸不包含芯片高度，安装时需注意精准测量；点灯操作时，推荐使用恒功率控制的电源装置，以保障灯具运行的稳定性，延长使用寿命，避免因电压电流波动对灯具造成损耗。

USHIO牛尾深紫外UV汞灯系列涵盖多种型号，除UXM-501MA外，还包括UXM-200H AX、UXM-501MD、UXM-1001MD、UXM-2004MD、UXM-5000MA等，不同型号在输入功率、辐照度、尺寸等参数上各有差异，可根据不同工业场景的需求灵活选择，广泛应用于半导体曝光、精密加工等领域，为各类高精度紫外作业提供可靠的光源解决方案。

型式	ランプ入力(W)	ランプ電流(A)	ランプ電圧(V)	水平放射照度(μW/cm²) 210~300nm（距灯1m）	水平放射照度(μW/cm²) 360~370nm（距灯1m）	水平放射照度(μW/cm²) 400~410nm（距灯1m）	水平放射照度(μW/cm²) 430~440nm（距灯1m）	平均寿命(h)	許容使用角度(垂直)	冷極間(mm)	寸法 L1(mm)	寸法 L2(mm)	寸法 n LJ(mm)	寸法 φD1(mm)	寸法 62 PUE(mm)	寸法 φD₃(mm)	寸法 D4(ネジ規格)
UXM-200H AX	200	9.0	22.5	70	70	25	35	600	±15°	1.9	114.3	95	48	18.5	12.7	12.7	φ11.1
UXM-501MA MAX	500	20	25	410	200	60	110	600	±15°	3.0	180	150	80	29	13	13	M5×0.9
UXM-501MD MAX	500	20	25	415	190	60	100	600	±15°	3.0	180	150	80	29	13	13	M5×0.9
UXM-1001MD MAX	1000	37	27	555	380	130	210	400	±15°	4.0	237	191	100	42	20	20	M8×1.25
UXM-2004MD MAX	2000	59	34	880	790	250	320	400	±15°	3.5	332	270	140	62	六角口金	27	M8×1.25
UXM-5000MA	5000	100	50	2200	1300	610	810	1000	±5°	7.3	369	327	175	80	33.5	33.5	M14×1.5

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